高纯水处理系统施工事项

高纯水处理系统是将一般的市政用水处理成对不同离子的含量和颗粒度都有很高要求的超纯水。

超纯水处理设备施工分为三部分:超纯水制造区

1. 超纯水抛光循环区超纯水输送管网预处理
2. 沙滤，活性炭塔(有的在沙滤前还增设反应槽、气浮池)一次纯水部分
3. 阴阳离子交换塔，脱气塔，保安过滤器，紫外线杀菌器及多级反渗透

一、超纯水

脱气膜组，TOC-UV杀菌器，混床及终端过浅器

由干考虑到在向工艺线设备输送高纯水讨程中，输水管道会对水质再次造成污染，因而在FAB内一般都设立抛光循环系统。抛光循环系统主要以混床为核心，再加上超滤设备，以除去向工

艺生产线输送纯水的过程中，管网溶入水中的杂质。

超纯水系统中各阶段常用管材:

1、一股在超纯水制造区预处理阶段多采用PVC管或SUS304管

2、对水泵等产生震动的动力设备周边采用SUS304管

3、在一次纯水阶段主流程采用CPVC管或SUS304管

4、高压泵与反渗透(RO)之间，由于压力高所以必须采用SUS304管及耐压2.0Mpa级的法兰

5、由干RO对水温有一定的要求，因而一般在RO之前有热交换器，其周边也应该采用SUS304管

6、在超纯水制造阶段,主流程一般应采用SUS316管和CPVC管

7、抛光循环区主流程一般采用SUS316管(焊接连接，并要求双面成型)和PVDF管，超纯水回收管道采用CPVC管

水外理各阶段废水排放管道均采用普通PVC管:在纯水制造过程中酸碱等加药管线，应采用耐冲击PVC管:纯水系统中使用的氨气系统采用SUS304管，超纯水抛光系统所用氨气管道采用

SUS316管;压缩空气系统在纯水系统中作为气动阀开关动力，一般采用SUS304管。